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TMC 隔振平臺系統(tǒng) STACIS III

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發(fā)布時間: 2024-03-06 16:44
最后更新: 2024-03-06 16:44
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STACISseline; margin: 0px; padding: 0px; position: relative; top: -0.5em; color: rgb(20, 20, 20); background-color: rgb(255, 255, 255);">? III是一種靈活的主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動傳感器、控制算法和壓電致動器,通過連續(xù)測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。

STACIS最初設計用于隔離先進半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備,現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境(包括但不限于半導體工廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設施和材料研究中心)中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案。

STACIS III包括一個全新的改進型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口,為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面(GUI)。STACIS在全球已擁有數(shù)百個成功的安裝案例,適用于對振動敏感的儀器。 



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