| 產(chǎn)品名稱： | Ain on Sapph |
| 直徑inch： | 2、4 可定制 |
| 翹曲度： | <30um |
| 單價(jià)： | 1000.00元/片 |
| 發(fā)貨期限： | 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨 |
| 所在地： | 福建 廈門 |
| 有效期至： | 長(zhǎng)期有效 |
| 發(fā)布時(shí)間： | 2024-03-05 21:19 |
| 最后更新： | 2024-03-05 21:19 |
| 瀏覽次數(shù)： | 115 |
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化合積電采用PVD物理氣相沉積工藝制備出高質(zhì)量的藍(lán)寶石氮化鋁，【0001】取向搖擺曲線（XRC）的測(cè)量結(jié)果<0.05°（180arcsec）,并具備以下優(yōu)勢(shì)：
?通過(guò)改善AIN生長(zhǎng)步驟提高產(chǎn)量
?與MOCVD或HVPE生長(zhǎng)的AIN相比，高質(zhì)量、大尺寸、低成本，有利于規(guī)?；慨a(chǎn)
?可提供高達(dá)200nm厚度或是200nm以上（可根據(jù)要求提供其他厚度）
| 產(chǎn)品名稱 | 藍(lán)寶石基氮化鋁（AIN on Sapphire） |
基底材料(Substrate) | 430-440um Sap(002) |
| AIN外延厚度(Thinkness) | 50~200nm |
| 晶面取向(Orientantion) | c-aixs[0001] |
| 表面粗糙度(nm)(5*5nm) | Rq<1.20nm(200nm) |
| XRC(°)(002) | <0.05° |
| 總厚度變化(TTV) | <7um |
| 翹曲度(Warp) | <30um |
| 彎曲度(BoW) | -10~15um |
| 包裝(Packaging) | 單片/多片晶圓盒 |
| 直徑(inch) | 2、4......可定制 |