配置隔離式(雙扉)凈化洗衣機、高效過濾器凈化烘干機、18 MΩEDI超純水系統(tǒng)及ESD和塵粒測試檢測儀器。使用二級RO水及非離子型表面活性洗滌劑對無塵工作服進行清洗，清洗后的無塵服的折疊、包裝、檢測和暫存均在超潔凈環(huán)境中完成。

依照不同的使用環(huán)境，對無塵服清洗的周期性有不同要求。通常千級凈化間無塵服至少每周洗滌一次。其洗滌過程與普能清洗也有所不同：(1)新制作的無塵服可直接進行洗滌，而回收穿過的無塵服發(fā)現(xiàn)油污，應仔細去除油污再進行洗滌程序。 (2)洗滌前要對擦破、損壞及搭扣等附屬品進行檢查，對有缺陷的要修理、更換或報廢。(3)必須在比使用無塵服的潔凈室的潔凈度高的潔凈室中進行清洗、烘干、包裝。(4)清洗用的水要使用18兆歐水，并選用中性洗滌劑進行清洗。(5)在裝有潔凈空氣循環(huán)系統(tǒng)的烘干機中進行干燥并消毒。干燥消毒后，雙層包裝，進行真空塑封。