中準(zhǔn):

GB/T 25915.1-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境部分∶空氣潔凈度等級

GB/T25915.2-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分∶證明持續(xù)符合GB/T 25915.1-2010的檢測與監(jiān)測技術(shù)條件

GB/T 25915.3-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分∶檢測方法

GB/T 25915.4-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第4部分∶設(shè)計、建造、啟動GB/T 25915.5-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第5部分︰運(yùn)行

GB/T 25915.6-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第6部分︰詞匯

GB/T25915.7-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第7部分︰隔離裝置(潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境)GB/T 25915.8-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第8部分:空氣分子污染分級

GBT 25915.9-2018潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第9部分︰按粒子濃度劃分表面潔凈度等級潔凈提升系統(tǒng)

用于潔凈要求嚴(yán)格的工業(yè)用潔凈室、生物潔凈室。無塵室也是一種潔凈房，通常要求干凈度很高，不允許有大量的灰塵。室內(nèi)一般以白色基調(diào)為主。

潔凈提升系統(tǒng)綜合了工藝、建筑、裝飾、設(shè)備自動化等多方面的技術(shù)，主要是為了滿足電子、制藥、生物工程、醫(yī)療、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域?qū)ιa(chǎn)環(huán)境和質(zhì)量的苛刻要求。相比應(yīng)用于其他行業(yè)的起重機(jī)，潔凈提升系統(tǒng)具有潔凈低故障率、調(diào)速、定位等主要特點(diǎn)。因此，潔凈提升系統(tǒng)是保證諸如液晶面板、光伏、微電子、半導(dǎo)體、醫(yī)藥等環(huán)境要求較高的行業(yè)進(jìn)行批量生產(chǎn)所條件。

其他說明

均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。

209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以`M字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5um之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5表示。

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英吠為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1um微粒子為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1 , Class 2 , Class 3 Class8表示，的等級為Class 1，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。