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| 發(fā)布時(shí)間： | 2023-12-15 10:11 |
| 最后更新： | 2023-12-15 10:11 |
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射頻電源維修RF Generator Comdel CX-3500S
射頻電源常見(jiàn)故障及維修：
故障現(xiàn)象1：打開(kāi)電源，電源指示燈不亮；
故障現(xiàn)象2：電源燈亮了，預(yù)熱燈不亮；
故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）
故障現(xiàn)象4：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮，輝光不亮:；
故障現(xiàn)象5：無(wú)功率輸出；
故障現(xiàn)象6：有功率輸出，但是調(diào)不大，或是調(diào)不到正常值。
故障現(xiàn)象7：無(wú)反射功率，或反射功率過(guò)大，射頻功率源壞
RF MATCH(射頻電源匹配)1、ADVANCED ENERGY射頻電源匹配2、ASTEX射頻電源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射頻電源匹配
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